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油扩散泵抽空机组对气体抽气速率选择性的分析

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摘要通过对油扩散泵抽气速率和分子流态下气体流动理论的分析,指出油扩散泵抽空机组对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体与氮气抽气速率比值的计算值和实测值,同时指出电离规常数与气体种类有关.

DOI pkd2353e46/191562

作者李殿东;柏树;王建录;刘锋

机构地区不详

出处《通用机械》 2004年6期

关键词油扩散泵抽空机组抽气速率选择作用氮气电离规常数

分类 [机械工程][机械设计及理论]

出版日期 2004年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）