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世界最小的3轴加速度MEMS传感器
世界最小的3轴加速度MEMS传感器
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摘要
未填写
DOI
wjvx2zkq47/1563902
作者
孙再吉
机构地区
不详
出处
《半导体信息》
2007年1期
关键词
引线键合
陶瓷封装
封装形式
键合技术
压敏
速度范围
分类
[电子电信][物理电子学]
出版日期
2007年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
半导体信息
2007年1期
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