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2020年29期
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高纯氮气产品纯度控制的分析
高纯氮气产品纯度控制的分析
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摘要
摘要:高纯氮气提纯装置由低温液体储槽、原料气输送管道、纯化设备、隔膜压缩机、充装汇流排、真空泵组成。在高纯氮气提纯装置运行生产高纯氮气过程中,原料气系统、纯化设备、隔膜压缩机的具体工况均会影响高纯氮气纯度,本文分析高纯氮气纯度的控制措施,使高纯氮气生产中气体产品的纯度符合高纯氮气国家标准。
DOI
7j6wey6q40/5041466
作者
钱再飞
机构地区
中国振华电子集团新天动力有限公司 贵州务川 550018
出处
《科学与技术》
2020年29期
关键词
高纯氮气
纯度控制
措施
分类
[建筑科学][建筑技术科学]
出版日期
2021年02月24日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
科学与技术
2020年29期
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