高纯氮气产品纯度控制的分析

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摘要 摘要:高纯氮气提纯装置由低温液体储槽、原料气输送管道、纯化设备、隔膜压缩机、充装汇流排、真空泵组成。在高纯氮气提纯装置运行生产高纯氮气过程中,原料气系统、纯化设备、隔膜压缩机的具体工况均会影响高纯氮气纯度,本文分析高纯氮气纯度的控制措施,使高纯氮气生产中气体产品的纯度符合高纯氮气国家标准。
出处 《科学与技术》 2020年29期
出版日期 2021年02月24日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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